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吃过饭后,乔瑞达正想开车回家,却再次被王院士拉住,“小达,你晚上没什么事儿吧,和我一起去芯片实验室那边看看,帮着把把关。我们这还是第一次安装调试石墨烯晶圆光刻机,一点经验也没有。万一在安装过程中,有什么不对劲的地方,不要客气,直接指出来就好。”
自家导师都发话了,乔瑞达这个当学生的怎敢不从。于是乔瑞达陪着几位院士,再次穿上无尘服,进入了芯片实验室。倒是那帮研究员,只有几位年龄比较大的跟了上来,其他人各自散去,或者去休息,或者去外面购买日常用品去了。光刻机的测试过程,复杂、专业、且漫长,持续个十天半个月的,实属正常。这些研究员要做好在德诚市长期奋战的准备,一些日常用品,必然要采购的。
石墨烯晶圆光刻机实在太过庞大,以至于一般的房门,根本就无法通过。想要把光刻机放入实验室或生产车间,只能打开天窗,用大型吊车,将光刻机吊进去。乔瑞达一行人,进入芯片实验室的时候,工作人员正在关闭实验室的天窗,并测试其密封性能。实验室的除尘和空气过滤系统,正在全功率运转,以尽快恢复实验室的无尘状态。很显然,光刻机的吊装工作已经完成,安装工作正在进行之中。
整个芯片实验室的面积,只有三百多平,里面安装了一条小型石墨烯芯片生产线。这里经常用作新设备,新工艺的测试场所,也是研发团队,摸索新制程,进行芯片流片测试的地方。此时已经过了下班时间,实验室内空荡荡的。瑞芯晶圆厂的研究员和工程师,大部分已经下班回家,只有少数几个人,自愿留下来加班,配合中科院团队,进行光刻机的吊装和安装。
远远的,乔瑞达就看到一台橙色涂装的庞大设备,安放在一个靠墙的空闲位置,和周围统一白色涂装的设备,有些格格不入。在机械设备生产领域,经常用不同的颜色,标注一台设备目前的研发状态。譬如处在试飞状态的战机,经常使用橙色涂装,做为标记(也有人说,那是防锈漆的底色),而定型批量列装的战机,通常使用的是灰色或者深灰色的低可见度涂装。这台光刻机选用橙色涂装,应该也是这个原因。
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