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为了降低生产难度,乔瑞达拿出了一款比较简单的7nm工艺三代内存芯片掩膜版,装进EUV光刻机,进行生产测试。这种内存芯片,加工过程即不需要套刻,也不需要二次曝光,结构也非常的简单,算是最好的测试样品了。第一批100片12寸硅晶圆放上传送带,清洗、干燥、气相沉积底膜、旋涂光刻胶、对准与曝光、烘焙、显影……一个步骤又一个步骤的走下来,时间不知不觉间过去。
第一天投料,第二天中午的时候,加工完的晶圆才走下生产线。然后乔瑞达等人,亲自动手,将这100片带着美丽彩色花纹的晶圆,装进专用密封盒子,然后带去隔壁的芯片测试车间,进行全面的检测。
又是半个小时后,乔瑞达一脸关切的向测试人员询问道:“怎么样,芯片合格率高吗?”
这位刚刚从大学毕业的芯片检测员小姑娘,被几十位穿着白大褂的公司高层围着,还颇有几分手足无措。好在芯片的检测过程是全自动的,需要她参与的步骤并不多。小姑娘查看了一下电脑屏幕上的统计数据,向乔瑞达汇报道:“到目前为止,一共检测了32片晶圆,6400枚芯片,全部不合格。”
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