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“呵呵,剧透就没意思了,还是等到吊装到位,再揭晓答案吧。”乔瑞达微笑着卖了个关子,就是不说车上的设备是什么。
就在几人说话的功夫,跟在他们后面的那辆拉着EUV光刻机的货车,已经开到了空地中心。待货车停好之后,几名工作人员马上爬上车,打开集装箱和货车之间的连接装置,而后将吊装用的钢索,挂在提前预留好的钩挂上。
“好,起,起,慢一点,稳一点,向右转,对,注意车间开口的位置,平稳的放下去……”在专业人员的指挥下,集装箱顺利的转移到了无尘车间内。而后同样的步骤,应用在了后续几辆货车上。当然,并不是所有的设备,都有这个待遇,前面几台设备,太过精密,对温湿度有着严格的要求,这才需要整体吊装。后续的大多数设备,没那么精贵,都是打开集装箱,将设备卸下来,再用吊车吊进车间。
两台吊机一直忙碌了两个小时,才把所有的设备,吊进无尘车间。而后无尘车间的顶棚闭合,除尘,恒温,恒湿设备开启,等待车间内部环境达到要求,才能进行下一步的安装。
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