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第181章安装设备
“吊车已经在路上了，过几分钟就能到。”
众人站在无尘车间外等了几分钟，两辆20吨级吊车就赶到了瑞达电子厂，而后以吊装的方式，将集装箱货车上的光刻机和刻蚀机，分别送入四个无尘车间。接下来就是漫长的设备安装和调试，光刻机和刻蚀机，是这个世界上最精密的设备之二，可以在晶圆上完成纳米级别的精加工，如此高端的设备，对安装环境的要求也是非常的苛刻，平整度、温度、安装精度缺一不可。瑞达电子厂斥巨资打造这四个电子级无尘车间，主要就是为了这两种设备服务。
王成业院士捧着一本足有砖头厚的英文原版安装说明书，一边翻看，一边感叹道：“啧啧啧，不愧是当前世界最先进的DUV光刻机，只是安装说明书，就有上千页，看着就让人头大。”
林梦松也跟着附和道：“谁说不是呢，越高端的设备越是娇贵，就拿这台光刻机来说，安装的环境温度高了不行，湿度大了不行，灰尘多了也不行，噪音稍稍大一些，成品率都会受到影响。”
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