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而在三百公里外的庐州,星源科技EUV展厅内,灯光缓缓亮起。巨大的环形屏幕上,正播放着破晓A220从零件加工到整机装配的全过程影像。镜头扫过一间间超净车间,数百名身穿白色防护服的技术员正在调试设备,机械臂在真空腔体内精准移动,激光干涉仪实时反馈校准数据。
十点整,陈延森步入会场。没有掌声,没有致辞,他只是走到中央控制台前,按下启动键。
嗡??
低频共振声自地下传来,地面微微震颤。展厅尽头的透明隔离墙后,第一台量产型破晓A220缓缓点亮。紫色极紫外光束穿透多层反射镜系统,在晶圆表面投射出纳米级电路图案。监控大屏随即跳出实时数据流:
【光源功率:瓦】
【曝光均匀性:%】
【套刻精度:±皮米】
【运行状态:稳定】
现场一片寂静,随后爆发出难以抑制的欢呼。一名来自西安的教授激动地拍着同事肩膀:“这不只是国产替代……这是超越!他们在7纳米节点上做到了比阿斯麦德更高的良率窗口!”
就在此时,陈延森的私人终端震动。是一条加密通讯请求,来自天工科技李维。
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