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晚上五点多,莫文琳完成了今天这批叠层器件的蒸镀工作,开始进行真空放置。
这时,许秋前往实验室,开始对旋涂手套箱进行再生操作。
首先关闭手套箱的循环系统,然后打开氮氢混合气的阀门,并预设减压阀的压强为兆帕,相当于8个大气压的压强,最后点击手套箱控制面板上的再生按钮,开始执行再生操作。
点击再生按钮后,控制面板上出现倒计时:“23:59:59……”
接下来,手套箱将按照内部提前预设好的程序开始执行:
前3个小时是单纯的内部加热阶段;
3小时后,氮氢混合气的气阀会被打开,氮氢混合气会进入手套箱内,对箱内氛围进行净化;
24小时后,再生结束,需要重启手套箱。
氮氢混合气对于再生操作非常的关键,如果发生气路堵塞等情况导致再生气无法输入手套箱,就会造成再生失败。
因此,在再生开启的三个小时后,还需要回实验室一趟,确认氮氢混合气的通入是否正常。
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