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另外一种,就是在制备器件旋涂有效层之前,清洗三到五分钟,给手套箱内部的气体“换一换血”,以期得到一个比较纯净的氮气氛围。
这种做法是有一些效果,但算是治标不治本。
因为随着手套箱使用时间的变长,很多有机溶剂会吸附在手套箱内的各种表面上,比如过滤网中,单纯的清洗换气并不足以让它们被去除掉。
表现出来的现象,就是手套箱用久了,氧含量会维持在10ppm以上,无法靠自身的循环功能,自动降低到小于以下。
这个时候,就要用到再生的方法,来让手套箱“重新活过来”。
具体采用的方式,是对手套箱体内容易吸附有机溶剂的地方进行加热,使溶剂分子在高温下脱附。
另外,还要用到体积分数95%+5%的氮氢混合气,提供一种还原性的气氛。
再生的过程一般持续时间长达24小时,中途不能中断,也不能进行实验。
可以认为,再生就是一种强效的清洗过程。
在这个过程中,箱体内积攒的有机溶剂分子会被排除到手套箱外,大部分直接被排到了大气中,少部分会留在实验室内。
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